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回转对称微结构光学模具的超精密切削B轴旋转加工工艺

【作者】 高兴 李勇 钟昊 岳全 李朝将    清华大学机械工程系 精密超精密制造装备及控制北京市重点实验室 摩擦学国家重点实验室 北京100084

【关键词】 超精密切削 B轴旋转加工工

摘要】为避免回转对称微结构光学模具加工中产生的毛刺、尖角缺损及表面划痕,提出一种基于超精密切削的B轴旋转加工工艺。通过实验研究加工路径、切削速度、B轴旋转速度及切深等影响微模具面形精度和表面质量的主要因素,优化切削轨迹规划与加工参数,开展了2种微结构模具的加工实验,得到尺寸精度小于1.4μm、表面粗糙度小于14nm的结构完整性较好、表面无划痕的模具。实验结果验证了回转对称微结构光学模具B轴旋转加工工艺的可行性。

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